実験設備 Equipment

我々の研究室ではセンサデバイスの作製や計測システムの構築などのものづくり,これらのデバイスやシステムの基礎評価,そして社会に役立つ計測技術の開発を行っています。
 そのため,様々なデバイス作製装置,計測機器をそろえて実験を行っています。


・半導体デバイス作製関連 Fabrication of semiconductor device

 

 

 

 

 

・デバイス評価 Device evaluation

 

・高感度磁気センサ(SQUID),非破壊検査関連 Highly-sensitive magnetic sensor (SQUID) and Non-destructive evaluation

 

・テラヘルツ関連 Terahertz system

 

・ケミカルセンサ,バイオ計測関連 Chemical sensor and bio-measurement

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 




・計測装置(すべての実験で使用します) Measurement instruments (used for all experiments)
 ロックインアンプ,ファンクションジェネレータ,デジタルマルチメータなど
 Lock-in amplifier, Function generator, Digital multimeter, etc.